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IMS Nanofabrication AG („IMS“) ist ein in Österreich ansässiges High-Tech-Unternehmen und wurde im Dezember 2006 durch den Zusammenschluss der ehemaligen IMS-Nanofabrication GmbH und Ionen-Ionen Mikrofabrikations Systeme GmbH gegründet. IMS fungiert als technologischer Innovator und Anbieter der Nanoworld und entwickelt Lithographiewerkzeuge für die Halbleiter- und Nanotech-Industrie, wobei sich die Hauptanstrengungen derzeit auf die Entwicklung eines Elektronen-Multi-Strahl-Masken-Expositionstools (EMET) für die Herstellung von komplexen Masken mit führenden Leitgängen konzentrieren und Vorlagen.